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詳細(xì)內(nèi)容:維持泵、機(jī)械泵、羅茨泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、維持閥、粗抽閥、前級(jí)閥、高閥、放氣閥、節(jié)流閥、水壓水流檢測(cè)和報(bào)警、加熱系統(tǒng)恒溫、擴(kuò)散泵油溫檢測(cè)和控制、真空壓力檢測(cè)和控制、氣體流量檢測(cè)和控制、轉(zhuǎn)架速度調(diào)節(jié)、電弧電源電流檢測(cè)和調(diào)節(jié)、偏壓電源電壓占空比檢測(cè)和調(diào)節(jié)、磁控電源電壓電流檢測(cè)和調(diào)節(jié)以及其他真空設(shè)備輔助設(shè)施的自動(dòng)檢測(cè)、控制、報(bào)警。
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